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产品名称:
雷尼绍非接触式增量式光栅--TONiC系统
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雷尼绍非接触式增量式光栅--TONiC系统
TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。
  雷尼绍非接触式增量式光栅--TONiC系统的详细资料:

雷尼绍非接触式增量式光栅--TONiC系统

什么是TONiC?

TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

栅尺选项

  • 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。
  • 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

镀金钢带

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀

系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RGSZ/RGSN

RGSZ20-S栅尺

±15 µm/m

20 µm

使用端压块固定到基体,保持与基体相同的热膨胀

如需超过50 m的长度,请联系雷尼绍

TONiC、TONiC UHV

带码道选项的不锈钢钢带

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀

系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

搭配可选FASTRACK™的RTLC20

RTLC20 FASTRACK栅尺

±5 µm/m

20 µm

~10.6 µm/m/°C

10 m

TONiC、TONiC UHV

ZeroMet™直线硬栅尺

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀

系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RELM/RELE

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1 µm,以后±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

1.5 m

TONiC、TONiC UHV

不锈钢直线硬栅尺

栅尺名称

精度

栅距

热膨胀

系数

栅尺最大长度

读数头兼容性

RSLM/RSLE/RSLC

RELM RSLM栅尺

1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm

20 µm

~10.8 µm/m/°C

5 m

TONiC、TONiC UHV

不锈钢圆光栅

栅尺名称

刻划精度(取决于圆光栅直径)

栅距

热膨胀

系数

圆光栅直径

读数头兼容性

RESM/REST/RESD

RESM-REST圆光栅(栅尺页面)

±3.97至±0.38角秒

20 µm

17 μm/m/°C

 

52至550 mm

 

TONiC、TONiC UHV

超高精度不锈钢圆光栅

栅尺名称

安装精度(取决于圆光栅直径)

栅距

热膨胀

系数

圆光栅直径

读数头兼容性

REXM/REXT

REXM圆光栅(栅尺页面)

(≥100 mm直径)±1角秒
(75 mm直径)±1.5角秒
(≤57 mm直径)±2角秒

20 µm

17 μm/m/°C

 52至417 mm

TONiC、TONiC UHV

 

产品相关关键字: 雷尼绍TONiC 雷尼绍光栅 增量式光栅 非接触式增量式光栅
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